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自動化設備
部門概要
時代を超えた自動化
自動化部門は1996年に設立され、機械設計、電気工学、ソフトウェア開発、ビジョン開発、プロセス最適化などの専門家で構成されています。主に自動化技術の開発と応用を担当し、生産効率の向上、コスト削減、製品品質の向上などを実現するとともに、これらの設備を顧客の生産ラインに統合し、カスタマイズされたソリューションを提供しています。
プロダクトシリーズ
リソグラフィ装置
マガジン式供給専用の高精度マスクアライメント露光装置で、自動供給、マスクとウェーハのレベル調整、表裏自動位置合わせ、露光、自動排出を実現。同時にクラス100のクリーンルーム要件を満たす。
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ウェーハ厚さ測定機
マガジン式供給専用の高精度ウェーハ厚さ測定機で、自動供給、視覚位置決め、厚さ測定、距離測定、自動排出機能を備え、同時にクラス100のクリーンルーム要件を満たします。
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ウェーハ外観検査機
マガジン式供給専用の高精度外観検査機で、自動供給、視覚位置合わせ、表裏同時外観検査、自動排出を実現。同時にクラス100のクリーンルーム要求を満たす。
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ウェハー周波数測定機
マガジン式供給専用の高精度ウェーハ周波数テスター。自動供給、視覚位置決め、周波数テスト、自動排出機能を備え、クラス100のクリーンルーム要件を満たします。
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ダイヤル式倒角機
石英、炭化ケイ素、宝石などの材料のウェハーに対して、切断後に生じるバリや鋭利なエッジを除去し、ウェハーエッジの品質を向上させるための精密なエッジ面取り処理を専門に行う。これにより、後続のチップ製造プロセスにおける歩留まりと安全性を確保する。
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自動精密ディスペンサー
マガジン式供給専用の高精度ディスペンサーで、自動供給・ディスペンシング・UVランプ硬化・自動排出を実現。同時にクラス100のクリーンルーム要件を満たします。
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水砂回収機
モルタル(石英などの硬質材料を切断するためのモルタル)中のSICとポリエチレングリコールを回収するために使用される。
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アイソレータ自動組立装置
マガジン式供給専用の高精度組立機。自動供給、ディスペンシング、加熱硬化を実現。
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ウェーハ選別機
高速・高精度なチップ自動外観検査、寸法検査、良品・不良品の独立排出が可能なチップ選別機。同時にクラス100のクリーンルーム要求を満たす。
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ウェーハ用レーザーマーキング機
主にウェハーマーキングやIDマーキングに使用され、カスタムレーザーを用いてウェハーを局部加工し、必要なパターン、文字、バーコードなどの各種図形を表示することで、ウェハーの追跡機能を果たします。マーキング精度が高く、速度が速く、マーキングが鮮明であるといった特徴を備えています。
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腐食減薄機
石英ウェハーの化学的減薄に用いられ、材料の厚みを精密に制御し、製品の性能と集積度を向上させる。
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