マガジン式供給専用の高精度外観検査機で、自動供給・視覚位置合わせ・表裏同時外観検査・自動排出を実現。同時にクラス100のクリーンルーム要求を満たします。各種ウェハー問題の検査に広く応用され、独自の検査技術はウェハー製造工程に適応。切断時の破片、バンプ/パッドのキズ、異色、欠落、位置ずれ、変形、異物などを効果的に検出可能です。
● 非接触・非破壊の視覚式欠陥検出。
● 視覚手法によるブランクの高精度寸法測定を実現。
● 高速外観欠陥検出が可能。
● ウェーハQRコード/文字の自動認識（オプション）。
● 供給トレイ内の誤配置・欠落の自動検知（オプション）。
● コンパクト設計で省スペース、設置が容易。
● ライン検査の外部信号トリガー要求に対応。
● 外観欠陥検査に最適な独自解析アルゴリズムを採用。
● J検査結果の分布図作成を自動化可能（オプション）。
| プロジェクト | 仕様 |
|---|---|
| 機器モデル | JYWGJCJ3.0.4 |
| ウェーハサイズに対応 | 2inch/3inch/4inch，その他カスタマイズ可能 |
| BLANKサイズの検出 | 最大3mm×3mmまで対応可能、その他はカスタマイズ可 |
| 最小識別欠陥サイズ | 5μm |
| blank寸法測定精度 | 2μm |
| 検査サイクル | 0.13S/ブランク |
| 位置決め精度 | 10μm |
| 誤判定率 | 0.003%以下 |
| 伝動方式 | サーボモーター＋ボールねじ |
| 検出方法 | 飛拍 |
| 位置決め方式 | 高精度視覚位置決め |
| 装置サイズ | 1000mm×900mm×2000mm |
| 装置重量 | 750kg |