ウェーハ厚さ測定機

マガジン式供給専用の高精度ウェーハ厚さ測定機で、自動供給、視覚位置決め、厚さ測定、距離測定、自動排出機能を備え、同時にクラス100のクリーンルーム要件を満たします。

● 非接触・非破壊の光学式膜厚測定。

● 分光干渉法を採用し、高い測定再現性を実現。

● 高速な即時研磨検査が可能。

● 保護フィルムやファインダーなど中間層を透過した測定が可能。

● 長作動距離に対応し、生産ラインや装置への設置が容易。

● ライン検査における外部信号トリガー要求に対応。

● 膜厚測定に最適な独自解析アルゴリズムを採用（特許取得済み）。

● 膜厚分布マッピングを自動生成可能（オプション）。