マガジン式供給専用の高精度マスクアライメント露光装置で、自動供給、マスク・ウェーハのレベル調整、表裏自動位置合わせ、露光、自動排出を実現。同時にクラス100のクリーンルーム要件を満たす。MEMS製造、CMOSイメージセンサー、メモリ、音響デバイス、マイクロ流体チップ、化合物半導体などの分野に適用される。
● 自動平行調整機構を採用し、マスクとウェーハ間の近接ギャップを高精度に設定可能。
● 独自の高速画像処理技術により、高精度な位置合わせを実現。
● 複数セットのビジョンシステムを活用し、ウェーハ表裏両面の自動位置合わせを実現（オプション）。
● 画像処理技術により、薄型基板や反り基板、水晶などの脆性ウェーハにも対応可能なプレアライメントを実現（オプション）。
● 独自の接触圧力精密制御機構により、ウェーハとマスクの高精度接近を実現。
● ウェーハ背面マニピュレータによる真空吸着方式で、高速・高精度かつ安定した自動搬送を実現。
| プロジェクト | 仕様 |
|---|---|
| マスクサイズ | 4インチ＆5インチ |
| 光源タイプ | 水銀灯／輸入LED（選択可能） |
| 光源波長 | 365nmなど複数波長から選択可能 |
| 光源出力 | 500-2000標準値 カスタマイズ可能 |
| 位置決め精度 | 1.6μm（3σ） |
| 重ね合わせ精度 | 2um（3σ） |
| 伝送方式 | ロボットアームによる搬送 |
| 露光方式 | 真空接触露光、ソフト接触露光、近接式露光 |
| 生産効率 | 転送15秒＋露光時間 |
| 装置サイズ | 1640mm×1140mm×1800mm |
| 装置重量 | 1200kg |