マガジン式供給専用の高精度ウェーハ周波数テスター。自動供給、視覚位置決め、周波数テスト、自動排出機能を備え、クラス100のクリーンルーム要件を満たします。
● 接触式周波数検出。
● 250C-2デュアルチャンネル周波数テストシステムを採用。
● 左右に配置された2組の分散型プローブに基づく全自動テスト。
● 高精度・高スループット・高信頼性の無人自動テストを実現し、ウェーハテストマップを生成。
● コンパクト設計で省スペース、設置が容易。
● 1 MHz～400 MHzの超広帯域周波数測定。
● 最小0.4mmの極小ギャップ測定が可能。
| プロジェクト | 仕様 |
|---|---|
| 機器モデル | JYPLJCJ3.0.4 |
| ウェーハサイズに対応 | 2インチ/3インチ/4インチ、その他カスタマイズ可能 |
| 周波数測定範囲 | 1Mhz ~ 400Mhz※1（※1 測定機器を交換することで、より高い周波数でのテストが可能になります） |
| 繰り返し精度 | <30ppm |
| 測定時間 | 単一ブランクテスト時間<0.6秒 |
| 測定機器 | 250C |
| 名称 | 自動マッピングシステム |
| サンプルステージ方式 | X-Yステージ |
| 光学系 | 測定プローブ CCDカメラ |
| 最大ウェハーサイズ | 150mm以下 |
| ウェハー角度補正 | ある |
| パターン位置合わせ | ある |
| 装置サイズ | 1000mm×900mm×2000mm |
| 装置重量 | 750kg |