石英ウェハーの化学的薄膜化に用いられ、材料の厚みを精密に制御することで製品の性能と集積度を向上させます。半導体、太陽光発電、航空宇宙、自動車製造など幅広い分野で応用されています。
● 腐食筒全体は耐腐食性材料で一体溶接されています。
● 攪拌軸と製品回転台はそれぞれ独立して回転速度と回転方向を設定可能です。
● 槽内温度をリアルタイム表示し、温度警報機能を備えています。
● 全工程自動運転により、腐食液への人的接触を回避します。
| プロジェクト | 仕様 |
|---|---|
| ウェーハサイズに対応 | 2インチ/3インチ/4インチ、その他はカスタマイズ可能 |
| 装置サイズ | 3900mm×2000mm×2100mm |
| 装置重量 | 1200kg |