nTF 晶圆

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产品介绍

通过机械+特殊加工方法把多层键合衬底的表层LN/LT厚度减薄到nm级的POI( Piezoelectric on Insulator )衬底。主要应用在5G/6G(高端SAW滤波器)、光通讯(薄膜电光调制器)、传感器等领域。

产品规格

指标 规格
薄膜材料 声学级铌酸锂/钽酸锂,光学级铌酸锂/钽酸锂
薄膜厚度 600nm
膜层TTV ≤40nm
弯曲度 ≤ 15μm
翘曲度 ≤20μm
粗糙度 ≤0.2nm
DDP ≤3%

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