专用于弹夹式供料，自动上料、视觉定位、频率测试，自动下料的高精度晶圆频率测试机，同时机器可满足百级无尘要求。
● 接触式频率检测。
● 采用250C-2双通道频率测试系统。
● 基于两组左右分布式探针的全自动测试。
● 实现高精度、高吞吐量、高可靠性的无人值守自动化测试，生成晶圆测试图谱（Wafer Map）。
● 体积小、省空間、设备安装简易。
● 1 MHz 至 400 MHz超宽范围频率测量。
● 最小0.4mm的极小间隙测量。
| 指标 | 规格 |
|---|---|
| 设备型号 | JYPLJCJ3.0.4 |
| 兼容WAFER尺寸 | 2inch/3inch/4inch，其它可定制 |
| 频率测量范围 | 1Mhz ~ 400Mhz※1（※1 更换测量仪器可以达到更高频率测试） |
| 重复精度 | <30ppm |
| 测量时间 | 单颗blank测试时间<0.6s |
| 测量仪器 | 250C |
| 名称 | 自动Mapping系统 |
| 样品台方式 | X-Y样品台 |
| 光学系 | 测量探头 CCD相机 |
| 最大晶圆尺寸 | 150mm以下 |
| 晶圆角度补正 | 有 |
| Pattern对准 | 有 |
| 设备尺寸 | 1000mm×900mm×2000mm |
| 设备重量 | 750kg |