晶圆激光打标机

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产品介绍

主要用于晶圆标记、ID标记,利用定制激光对晶圆进行局部加工,显出所需的图案、文字、条形码等各类图形,起到晶圆追朔的作用。具有打标精度高、速度快、标记清晰等特点。主要应用于电子、机械、医疗等领域的材料表面精密加工。


● 自动上下料系统。

● 搭载高精度CCD视觉定位。

● 选配不同激光光源(紫外、绿光、红外),适应不同材料和规格的激光标刻工艺。

● 自动识别料框中来料有无放错及漏放(选配项目)。

● 对接MES系统(选配项目)。

● 体积小、省空間、设备安装简易。

产品规格

指标 规格
设备型号 JYJGDB1.0.1
兼容WAFER尺寸 2inch/3inch/4inch,其它可定制
打标材料 Si、SiC等半导体材料
打标内容 二维码,条形码或字符等
标记线宽 ≤0.01mm
最小字符 0.06mm
标记线速 ≤7000mm/s
对位精度 ±0.02mm
设备重复加工精度 ±0.05mm
定位方式 高精度视觉定位
设备尺寸 1000mm×900mm×2200mm
设备重量 900kg

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