主要用于晶圆标记、ID标记,利用定制激光对晶圆进行局部加工,显出所需的图案、文字、条形码等各类图形,起到晶圆追朔的作用。具有打标精度高、速度快、标记清晰等特点。主要应用于电子、机械、医疗等领域的材料表面精密加工。
● 自动上下料系统。
● 搭载高精度CCD视觉定位。
● 选配不同激光光源(紫外、绿光、红外),适应不同材料和规格的激光标刻工艺。
● 自动识别料框中来料有无放错及漏放(选配项目)。
● 对接MES系统(选配项目)。
● 体积小、省空間、设备安装简易。
| 指标 | 规格 |
|---|---|
| 设备型号 | JYJGDB1.0.1 |
| 兼容WAFER尺寸 | 2inch/3inch/4inch,其它可定制 |
| 打标材料 | Si、SiC等半导体材料 |
| 打标内容 | 二维码,条形码或字符等 |
| 标记线宽 | ≤0.01mm |
| 最小字符 | 0.06mm |
| 标记线速 | ≤7000mm/s |
| 对位精度 | ±0.02mm |
| 设备重复加工精度 | ±0.05mm |
| 定位方式 | 高精度视觉定位 |
| 设备尺寸 | 1000mm×900mm×2200mm |
| 设备重量 | 900kg |