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产品介绍 产品规格 相关案例

产品介绍

用作光学涂层底板或用于制作微光学元件、集成光学和光子学芯片等领域。


产品规格

指标 规格
外形尺寸 Φ100-200 ±0.1 mm
厚度 ≥0.5 mm ±0.01 mm
粗糙度 ≤1 nm
弯曲度 ≤10 μm
厚度公差 ≤2 μm
翘曲度 ≤15 μm
光洁度 10-5

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