石英波片
石英波片(Quartz Wave Plates或相位延迟片)是一种能够改变通过它的偏振态光波的相位的光学元件。
加工能力:
指标 | 规格范围 |
外形尺寸 | 可定制 |
波片类型 | 0级/多级波片 |
波前畸变 | λ/10 @ 632.8nm |
相位延迟精度 | λ/500 |
平行度 | ≥1 arc second |
光洁度 | 10-5 |
光学玻璃
光学玻璃片主要作为窗口片用于保护和调节光学系统中的波段,或作为滤波片用来选取所需辐射波段。
加工能力:
指标 | 规格范围 |
外形尺寸 | 可定制 |
波前畸变 | λ/10 @632.8nm |
粗糙度 | ≤1nm |
平行度 | ≥1 arc second |
光洁度 | 10-5 |
光学铌酸锂晶圆
光学铌酸锂(LiNbO3)晶圆是一种重要的光电材料,拥有优异的电光、声光、非线性光学及压电性能。因其独特的光学和电学性质而被广泛应用于多种光电集成器件中。
加工能力:
指标 | 规格范围 |
尺寸 | 1英寸-8英寸 |
厚度 | ≥0.2mm±0.01mm |
粗糙度 | ≤1nm |
TTV | ≤2.5μm (去边3mm) |
平面度 | ≤10N |
光洁度 | 10-5 |
石英晶圆
石英晶圆是一种由石英玻璃材料制成的圆形薄片,主要用作光学涂层底板或用于制作微光学元件、集成光学和光子学芯片。其厚度通常在1毫米以下,尺寸与硅晶圆类似,分为6英寸、8英寸、12英寸等规格。
加工能力:
指标 | 规格范围 |
尺寸 | Φ100-200±0.1mm |
厚度 | ≥0.5mm±0.01mm |
粗糙度 | ≤1nm |
弯曲度 | ≤10μm |
厚度公差 | ≤2μm |
翘曲度 | ≤15μm |
光洁度 | 10-5 |
AR波导片
AR波导片是增强现实(AR)技术中的关键组件,它负责将图像光线引导至用户的眼睛,实现虚拟图像与现实世界的叠加。AR波导片将广泛应用于智能眼镜、车载AR-HUD、全息显示等领域。
加工能力:
指标 | 规格范围 |
外形尺寸 | 52*60mm |
平面度 | ≤3N |
光洁度 | 40-20 |
平行度 | ≤5″ |
粗糙度 | ≤10nm |
薄膜铌酸锂(μTF)
通过机械+特殊加工方法把多层键合衬底的表层LN/LT厚度减薄到μm级的POI( Piezoelectric on Insulator )衬底。主要应用在5G/6G(高端SAW滤波器)、光通讯(薄膜电光调制器)、传感器等领域。
加工能力:
指标 | 规格范围 | |
晶圆尺寸 | 4/6英寸 | |
膜厚 | LN/LT膜层厚度 | 1~20μm |
LN/LT膜层TTV | <600nm | |
粗糙度 | <0.5nm |